如何正確的控制凈化車(chē)間壓差,看這里!
瀏覽次數:1550更新時(shí)間:2020-02-05
在醫藥、電子設備、工業(yè)等行業(yè),為了控制室內污染,必須建立
凈化車(chē)間,凈化車(chē)間可以控制空氣中懸浮顆粒物的濃度,使車(chē)間達到適宜的顆粒清潔度水平。當然,凈化車(chē)間也因環(huán)境因素分為幾級。那么如何控制凈化車(chē)間的壓差呢?
凈化車(chē)間具體工藝對溫度的要求,由于加工精度越來(lái)越精細,所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小;要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。
濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì )結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì )引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著(zhù)的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)*溫度范圍為35—45%。
凈化車(chē)間壓差控制的基本原理是控制送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量。當送入凈化車(chē)間內的空氣量適當的大于回風(fēng)和排風(fēng)量時(shí),室內則可維持一定的正壓值。此時(shí),在室內外靜壓差的作用下,通過(guò)圍護結構不嚴密處向外滲漏的風(fēng)量與機械進(jìn)出風(fēng)量的差額相等。
凈化車(chē)間壓差維持的難題在于機械送風(fēng)量與出風(fēng)量是動(dòng)態(tài)變化的。對于潔凈空調系統來(lái)說(shuō),過(guò)濾器積塵會(huì )造成新風(fēng)、送風(fēng)管路阻力增加,從而影響風(fēng)量,排風(fēng)設備的時(shí)開(kāi)時(shí)停也會(huì )導致排風(fēng)量的變化;此外,與樓道、室外相鄰還會(huì )因熱壓、風(fēng)壓的變化影響房間的壓差。因此潔凈室的壓差值需要經(jīng)常進(jìn)行檢查,并依次對新、送、回、排風(fēng)通路的閥門(mén)作出相應的調整。